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本文简要介绍了微光机电系统(MOEMS)制造技术的现状,主要针对硅微机械加工技术和LIGA技术,讲述了这些技术的原理和工艺流程。最后指出了MOEMS制造技术的发展趋势。
微光机电系统制造技术探索
【摘 要】
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本文简要介绍了微光机电系统(MOEMS)制造技术的现状,主要针对硅微机械加工技术和LIGA技术,讲述了这些技术的原理和工艺流程。最后指出了MOEMS制造技术的发展趋势。
【机 构】
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西安飞行自动控制研究所,西安710065
【出 处】
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中国航空学会工艺专业分会辅机学组2007年度学术会议
【发表日期】
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2007年10期
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