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BSIMPD模型中复杂的体电流成分，导致器件模型参数不容易准确提取。提出并实现了一种有明确物理意义的方法，来分离体电流组分及提取相关参数，有效地降低了器件模型参数提取及优化过程的复杂性。并通过借鉴现有的体硅MOSFET器件参数提取的流程与算法，实现了基于BSIMPD模型的部分耗尽SOI(PDSOI)器件模型参数的有效提取。