【摘 要】
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电弧离子镀所制备薄膜中的大颗粒缺陷是研究热点之一，本文利用尘埃等离子体的理论，以Ti大颗粒为研究对象，对电弧离子镀中大颗粒空间传输过程中的受力进行了分析，主要包括重力、离子拖曳力、热泳力、电场力等4种类型，对其影响规律、作用大小以及综合表现进行了总结，为有效避免大颗粒在薄膜表面的沉积概率提出。本论文通过大颗粒空间传输特征的理论分析，对大颗粒传输过程中的空间受力进行了计算，解释了大颗粒在薄膜表面数目
【出 处】
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第十一届全国表面工程大会暨第八届全国青年表面工程学术会议
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电弧离子镀所制备薄膜中的大颗粒缺陷是研究热点之一，本文利用尘埃等离子体的理论，以Ti大颗粒为研究对象，对电弧离子镀中大颗粒空间传输过程中的受力进行了分析，主要包括重力、离子拖曳力、热泳力、电场力等4种类型，对其影响规律、作用大小以及综合表现进行了总结，为有效避免大颗粒在薄膜表面的沉积概率提出。本论文通过大颗粒空间传输特征的理论分析，对大颗粒传输过程中的空间受力进行了计算，解释了大颗粒在薄膜表面数目和形貌变化的主要原因，大颗粒主要受到自身重力、热泳力、电场力和离子拖曳力的共同作用。
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