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选用高温超导体YBCO薄膜,利用集成微加工工艺,制成高温超导红外探测器。测得器件的等效噪声功率NEP达到10〈’12〉W.Hz〈’-1/2〉,探测率D〈’*〉为10〈’9〉cm.Hz〈’1/2〉.W〈’-1〉,其中最好的器件性能为D〈’*〉=1.8X10〈’10〉cm.Hz〈’1/2〉.W〈’-1〉,这表明这类探测器已进入实用阶段,成为红外探测技术发展的新方向之一。