【摘 要】
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采用脉冲激光沉积镀膜的方法，在钛酸锶单晶基片上制备了具有自发生成的有序微裂纹结构的LaCaMnO(LCMO)薄膜。通过制备工艺的优化，获得了具有不同裂 纹密度的LCMO薄膜，并采用离子刻蚀技术改善裂纹的微结构实现裂纹宽度的精确控制。这为单条微裂纹隧道结的制备提供了很大的方便。文中详细地讨论了薄膜制备工艺与薄膜结构的关系，以及薄膜表面的改善方法。
【机 构】
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中国科学院物理研究所(北京) 中国科学院物理研 究所(北京)
【出 处】
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第五届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议
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采用脉冲激光沉积镀膜的方法，在钛酸锶单晶基片上制备了具有自发生成的有序微裂纹结构的La<,0.5>Ca<,0.5>MnO<,3>(LCMO)薄膜。通过制备工艺的优化，获得了具有不同裂 纹密度的LCMO薄膜，并采用离子刻蚀技术改善裂纹的微结构实现裂纹宽度的精确控制。这为单条微裂纹隧道结的制备提供了很大的方便。文中详细地讨论了薄膜制备工艺与薄膜结构的关系，以及薄膜表面的改善方法。
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