【摘 要】
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采用多弧离子镀技术，利用纯Ti靶及TiAl合金靶在SKH51高速钢基本上沉积三种不同Al含量的TiN/Ti1-xAlxN复合多层涂层，利用材料表面性能测试仪、显微硬度计、扫描电镜、X射线
【机 构】
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采用多弧离子镀技术，利用纯Ti靶及TiAl合金靶在SKH51高速钢基本上沉积三种不同Al含量的TiN/Ti1-xAlxN复合多层涂层，利用材料表面性能测试仪、显微硬度计、扫描电镜、X射线衍射仪等研究了Al含量及多层结构对涂层形貌、相结构、显微硬度、膜基结合力的影响。结果表明：TiN/Ti1-xAlxN复合多层涂层均为柱状晶结构，断口形貌表现为短纤维状撕裂，随着Al含量的升高，涂层中大颗粒数量增加，显微硬度升高，衍射峰右移，晶格常数减小；与相应成分的单层Ti1-xAlxN涂层相比，硬度均有少许的降低，但结合力有明显的提高。
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