【摘 要】
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高温下仍能保持低电阻率、高可靠性的金属引线电极是抗恶劣环境的MEMS压力传感器芯体的重要组成部分.高温环境金属电极层与层之间的相互反应和扩散会导致电极电阻率升高甚至
【机 构】
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中国电子科技集团公司第49研究所,哈尔滨150006
【出 处】
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第十四届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
高温下仍能保持低电阻率、高可靠性的金属引线电极是抗恶劣环境的MEMS压力传感器芯体的重要组成部分.高温环境金属电极层与层之间的相互反应和扩散会导致电极电阻率升高甚至导致彻底的接触失效.本文提出了以TiN作为阻挡层的材料隔离型引线电极制作方法,在蓝宝石(SOS)压力芯片上设计了以TiN作为阻挡层的多层金属电极(Ti/TiN/Al),通过电子束蒸发和磁控溅射方法进行了样品制作.通过对样品的测试,证明多层金属电极(Ti/TiN/Al)在400℃环境下能够保持正常工作,伏安特性曲线线性度良好.
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