论文部分内容阅读
该文利用台阶仪、扫描电镜（ＳＥＭ）和Ｘ射线双晶衍射仪，研究了线切割硅片和内圆切割硅片的表面切割损伤和损伤层厚度。实验指出线切割硅片表面粗糙度大，外表面损伤大，但损伤层的厚度要小于常规内圆切割硅片。该文还讨论了影响线切割硅片表面损伤的可能原因。
硅材料线切割表面损伤的研究
【摘 要】
：
该文利用台阶仪、扫描电镜（ＳＥＭ）和Ｘ射线双晶衍射仪，研究了线切割硅片和内圆切割硅片的表面切割损伤和损伤层厚度。实验指出线切割硅片表面粗糙度大，外表面损伤大，但损伤层的厚度要小于
【机 构】
：
大学硅材料国家重点实验室(杭州)
【出 处】
：
1998年中国材料研讨会
【发表日期】
：
1998年期
其他文献
３５ＫＶ和１１０ＫＶ线路其输电能力往往可以用比较简易的方法加以评估。该文从线路输电的理论极限及电流、电压的限制三方面对３５ＫＶ和１１０ＫＶ线路的输电能力加以讨论。现结合几种常风线路的实例，介绍一种评
一、电磁波干扰及地线 工厂中由于电火花，高频电源、振荡电路、各种大功率继电嚣等因素影响往往产生强烈的
First, the electromagnetic interference and ground Due to spa
该文研究了在数控加工中利用误差分离技术测量线轮廓度误差的新方法，在推导数学模型基础上进行计算机仿真，仿真结果表明误差分离技术应用于线轮廓度误差测量是可靠的，这为数控加
该文通过对国家重点工程－－黄河小浪底工程所用钢制方梁的焊接，探讨了大型中、厚板焊接件焊接变形的控制方法。强制变形；合理安排焊接顺序；调整焊接接线能量；对称焊接；选择正确的焊接
线谱对（LSP）参数足中、低速率语音编码中广泛采用线性预测参数。本文介绍了一种线谱对（LSP）参数的计算方法，使用了基于Chebyshev多项式的递推公式。在保持必要精度的同时，该算法使