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类金刚石(DLC)膜是由对应于金刚石结构的sp3杂化轨道键合的碳和对应于石墨结构的sp2杂化轨道键合的碳不规则地互相混合而成的一种非晶薄膜,可大致分为只有碳组成的膜和含氢的膜.本文论述了类金刚石膜的主要特性、应用现状以及今后的展望。
类金刚石膜
【摘 要】
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类金刚石(DLC)膜是由对应于金刚石结构的sp3杂化轨道键合的碳和对应于石墨结构的sp2杂化轨道键合的碳不规则地互相混合而成的一种非晶薄膜,可大致分为只有碳组成的膜和含氢的
【出 处】
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2006中国超硬材料发展论坛
【发表日期】
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2006年期
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