【摘 要】
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本文采用发射光谱法研究了SF6射频辉光放电等离子体的性质。在超光滑光学表面加工时,使用了SF6、O2和Ar混合气体等离子体,为了研究各类等离子体参数对光学表面加工过程的影响
【机 构】
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陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,西安工业大学;
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本文采用发射光谱法研究了SF6射频辉光放电等离子体的性质。在超光滑光学表面加工时,使用了SF6、O2和Ar混合气体等离子体,为了研究各类等离子体参数对光学表面加工过程的影响规律,对含SF6的等离子体进行光谱诊断并进行定量及定性分析,求得电子温度与电子密度,简要分析了电子温度与电子密度及强度与各类放电参数之间的关系,并针对抛光过程中的产物进行光谱诊断。
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