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本文讨论了超薄栅氧化层和厚氧化层在电学特性上的差异,并分析了导致这些差异的原因.通过本文的可以看出,超薄栅氧的的研究需要用全新的观点.
超薄栅氧化层与厚栅氧化层特性比较研究
【摘 要】
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本文讨论了超薄栅氧化层和厚氧化层在电学特性上的差异,并分析了导致这些差异的原因.通过本文的可以看出,超薄栅氧的的研究需要用全新的观点.
【机 构】
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中科院微电子中心(北京)
【出 处】
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第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会
【发表日期】
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2003年期
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