基于MEMS技术的均齿结构硅微机械加速度传感器

来源 :中国科学院电子学研究所2006年青年学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wangxiao8910
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  介绍了一种均齿结构电容式硅微机械加速度传感器,对结构进行了设计、分析和有限元模拟。并采用体硅MEMS(Micro-electromechanical System)硅-玻璃阳极键合和DRIE工艺制作出了传感器样品。对制作结果遇到的一些问题进行探讨并提出相应的解决办法。对测试结果进行了初步分析,±1g(0)测试的分辨率可以达到1mg(0)。
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