【摘 要】
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In this study, a new UV-bleaching technique for photosensitive polymer thermo-optic(TO) switches was realized.The cross-linkable negative photoresist SU-8 2
【机 构】
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State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics, College of Electronic Science and Engineering, J
【出 处】
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中国光学学会纤维光学与集成光学专业委员会全国第15次光纤通信暨第16届集成光学学术会议
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In this study, a new UV-bleaching technique for photosensitive polymer thermo-optic(TO) switches was realized.The cross-linkable negative photoresist SU-8 2005(MicroChem Corp.) was used as core material, and the thermal curable photoresist PMMA as cladding material.Once expose to UV light through a photomask, the waveguide strips can be obtained directly after being cured.Mach-Zehnder(M-Z) waveguide structures and heated electrodes were designed and fabricated.The schematic fabricating process of the switch was shown in Fig.1.The photograph of the TO switch device measured was given in Fig.2.The intensity-modulating response of the TO switch was shown in Fig.3.At 1550nm wavelength, the switching time was 0.2ms.
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