论文部分内容阅读
ECRH在磁镜装置上的实验
【机 构】
：
中国科学院等离子体研究所
【出 处】
：
87年全国微波会议
【发表日期】
：
1987年期
其他文献
为什么失眠症的发病率会如此高?rn首先从人与自然的关系来看,中医以“天人相应”理论为指导,对人与自然的关系讲得十分清楚,认为“人与自然同纪”,即人体睡眠与醒寤必须与自
该文综述了我所高电荷态ＥＣＲ离子源的最新进展，为提高高电荷离子产额，我们在自行研制的１０ＧＨｚ ＥＣＲ离子源上进行了一系列创新性的研究，主要包括试验成功的ＥＣＲ离子源的一种新的磁场束场型和发现的
该文简要描述了一台频率为２．４５ＧＨｚ的电子回旋共振（ＥＣＲ）等离子体源的特性测试，表明放电室内的等离子体密度和电子温度与静态磁场，微波输入功率和真空度等参数均有着密切关系，当磁场达到共振条
将脉冲激光沉积与ＥＣＲ微波放电等离子体结合，进行了制备化合物薄膜的初步尝试，合成沉积了氮化硅、氧化硅、氮化铝薄膜。采用俄歇电子能谱等方法进行了分析表征，结果表明这种方法可以
提出了一种电子回旋共振等离子体辅助的反应脉冲激光沉积方法，这一方法结合了反应脉冲激光沉积和电子回旋共振等离子体的特点。用这一方法尝试进行氮化硅薄膜，得到了成分分布均
在全球化迅猛发展的今天,世界各国之间在政治、经济、文化等各个领域的合作交流都日益频繁起来。这也对新闻工作者提出了更高的要求,要努力地将国内外的重大事件及时准确地传
采用微波电子回旋共振等离子本增强化学气相沉积技术在单晶硅衬底上制备用于平面光波导的SiO薄膜，研究了沉积速率与工艺参数这间的关系，并对射频偏置对成膜特性的影响作了初步