微波电子回旋共振相关论文
分别利用中频磁控溅射(MFS)方法和微波电子回旋共振(ECR-MW)等离子体方法制备了Yb:Er共掺AlO薄膜,研究了氧气与氩气比例、样品荧光......
采用微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积(MW-ECRCVD)法,BF3-H2-N2-Ar为反应气体,制备立方氮化硼薄膜.应用傅立叶红外光谱(F......
本文主要介绍了一种用于微波电子回旋共振CVD系统的新型磁场结构,提出了磁场线圈与沉积室永磁体单元组合的结构,并对这一结构及其......
采用微波电子回旋共振等离子本增强化学气相沉积技术在单晶硅衬底上制备用于平面光波导的SiO薄膜，研究了沉积速率与工艺参数这间的......
近年来,微波电子回旋共振(ECR)等离子体源越来越受到人们的关注,因为它能在低气压下产生高密度、高电离度、大体积均匀的等离子体......
微波电子回旋共振（electroncyclotronresonance-ECR）等离子体源技术是一种先进的低温等离子体发生技术,具有体积小、无热阴极、起动......
微波电子回旋共振(ECR)等离子体源产生的等离子体有许多优点：首先，它属于无极放电，没有污染，能获得纯净的等离子体；其次，微波能量转化效......
氢化非晶硅薄膜(a-Si：H)已经被广泛应用于太阳能电池、薄膜晶体管(TFT)、大面积显示技术等半导体器件领域。但在光照条件下发现材料......
非晶硅(a-Si)具有特殊的光学、电学性质,并且呈现出了巨大的应用前景。但是由于它含有大量的缺陷态(主要缺陷态是悬挂键),使其在实......
多晶硅薄膜电池以其既具有晶体硅电池的高效、稳定、无毒和资源丰富的优势，又具有薄膜电池工艺简单、能够节省材料并大幅降低成本的......
介绍了以三甲基铝为前驱体、氢气为还原剂,在微波电子回旋共振等离子体装置中进行了等离子体辅助原子层沉积金属铝薄膜的研究.确定......
概述了微波 ECR(Electroll Cyclotron Resonance)等离子化学气相淀积新技术(PCVD)在原子氧效应防护技术中的应用。文章对其原理、......
为了研究空间原子氧（AO）环境和摩擦材料的相互作用机理，以MSTS-1型真空摩擦磨损试验机为平台，研制了可用于模拟空间AO环境下摩擦学试验......
通过红外透射光谱研究了在光诱导退火中退火条件对氢化非晶硅薄膜的结构和光电特性的影响,实验所用样品采用热丝辅助微波电子回旋......
利用朗缪尔探针,诊断了Pw=650W、Im=145 A、p=0.1 pa条件下在微波电子回旋共振等离子体增强有机金属化学气相沉积ECR-PEMOCVD装置......
为了对原子层沉积金属薄膜进行研究,以三甲基铝为前驱体、氢气为还原剂,在微波电子回旋共振等离子体辅助原子层沉积装置中进行了铝......
