【摘 要】
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磁控溅射技术已发展成为工业镀膜中非常重要的一门技术.本文以实际应用为目的,针对磁控溅射系统中常见的靶材利用率低、沉积率低以及溅射率低等具体问题,对靶的结构进行了改
【机 构】
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北京航空航天大学机械工程及自动化学院,100083
【出 处】
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2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议
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磁控溅射技术已发展成为工业镀膜中非常重要的一门技术.本文以实际应用为目的,针对磁控溅射系统中常见的靶材利用率低、沉积率低以及溅射率低等具体问题,对靶的结构进行了改造,包括改变极靴形状、磁体位置,加装导磁片等方法;并且选择了合适的材料进行研究.并在此基础上采用电磁场有限元的方法,模拟并分析了各种情况下靶面磁场的分布.通过分析比较最终设计出一种最适合磁控溅射的靶阴极结构.
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