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本文介绍了"十五"以来半导体行业高效精密加工用金刚石磨具以及相关配套产品的国产化进展情况,包括高精度超薄切割砂轮、硅片减薄砂轮、砂轮修整板及微孔陶瓷吸盘等产品的品种、型号、规格、应用实例等。
半导体行业用高效精密磨具的国产化进程
【摘 要】
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本文介绍了"十五"以来半导体行业高效精密加工用金刚石磨具以及相关配套产品的国产化进展情况,包括高精度超薄切割砂轮、硅片减薄砂轮、砂轮修整板及微孔陶瓷吸盘等产品的品
【机 构】
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郑州磨料磨具磨削研究所;国家超硬材料及制品工程技术研究中心,河南,郑州,450013
【出 处】
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第四届中国国际集成电路产业展览暨研讨会
【发表日期】
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2006年9期
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