【摘 要】
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大口径光学元件在航天、军事等领域的应用日益广泛，光学元件口径增大的同时精度要求也逐渐提高，庞大的需求量给元件的加工和检测带来很大压力。然而大口径光学元件的面形检测技术仍然存在诸多挑战，现有的商用大口径干涉仪价格昂贵，常用的4″和6″干涉仪多为相移式干涉仪，对检测环境要求颇高，也对被测件调整装置的精度和稳定性有很高要求，这就限制了检测只能在隔振、恒温、恒湿等条件较好的实验室中进行，大大降低了检测效率
【机 构】
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上海大学 精密机械工程系,上海 200072
【出 处】
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2014全国第十届精密工程学术研讨会(PES10`14)
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大口径光学元件在航天、军事等领域的应用日益广泛，光学元件口径增大的同时精度要求也逐渐提高，庞大的需求量给元件的加工和检测带来很大压力。然而大口径光学元件的面形检测技术仍然存在诸多挑战，现有的商用大口径干涉仪价格昂贵，常用的4″和6″干涉仪多为相移式干涉仪，对检测环境要求颇高，也对被测件调整装置的精度和稳定性有很高要求，这就限制了检测只能在隔振、恒温、恒湿等条件较好的实验室中进行，大大降低了检测效率。
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