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采用Sol-Gel方法制备了高品质的硅基PZT薄膜,利用微机械加工技术,实现了基于PZT压电薄膜的微麦克风.对芯片级和封装后的压电微麦克风进行了测试,测试表明本文制备的微麦克风具有可靠性高,频带宽的特点.
基于PZT压电薄膜的微麦克风
【摘 要】
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采用Sol-Gel方法制备了高品质的硅基PZT薄膜,利用微机械加工技术,实现了基于PZT压电薄膜的微麦克风.对芯片级和封装后的压电微麦克风进行了测试,测试表明本文制备的微麦克风具有可靠性高,频带宽的特点.
【机 构】
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微电子所,清华大学(中国北京)
【出 处】
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第八届敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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2003年5期
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