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电容式微加速度计是目前发展最快、应用最广的微机械加速度计产品之一,已开始实现从中等精度向高精度的换代升级.本文介绍了硅电容加速度计的基本原理、典型敏感结构方案、国内外研究现状和技术发展趋势,重点分析面向导航系统应用的中高精度硅电容加速度计,对居于该领域前列的瑞士Colibrys公司的典型产品进行了介绍和讨论。