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本文对先扫描后加速系统的平行束测量的原理进行了详细的推导,对平行度的具体测量方法进行了详细的介绍.并介绍了如何根据测量结果对平行束透镜进行调整使之满足束平行度指标
平行束测量与束平行度矫正技术
【摘 要】
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本文对先扫描后加速系统的平行束测量的原理进行了详细的推导,对平行度的具体测量方法进行了详细的介绍.并介绍了如何根据测量结果对平行束透镜进行调整使之满足束平行度指标
【机 构】
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中国电子科技集团第48研究所,长沙,410111 北京中科信电子装备有限公司,北京,100036
【出 处】
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第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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2005年4期
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