硅基毫米波共面波导有限地平面对传输线分布电阻和分布电感影响分析

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本文主要分析了硅基毫米波共面波导的有限地平面对共面波导分布电感和分布电阻的影响。构建了毫米波共面波导计算模型用于计算不同地平面宽度共面波导分布电感和分布电阻。计算结果表明,随着地平面宽度增加,其分布电感和分布电阻将降低,但当地平面宽度增加到100um以上时,此时宽度变化影响较小,文中理论分析了该现象产生原因。同时,分析了不同金属构成的共面波导分布电阻和分布电感的计算参数及对比,结果表明其最大变化量在10%以内。本文研究能够直接应用于硅基毫米波集成电路设计中。
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