【摘 要】
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本研究利用自制的二维超声抛光装置并将其安装到精密磨床上，对500mm×400mm×16mm纳米ZrO2增韧AL2O3纳米陶瓷板进行抛光试验，测试结果表明：此超声抛光装置最大振幅达到18.34um，利用其进行超声抛光，能够提高抛光效率而且抛光表面粗糙度达到0.07um以下，平面度达到10um以下，为大平板纳米陶瓷超声抛光提供了一种有效的加工方法。
【机 构】
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河南理工大学机械与动力工程学院,焦作 454003 焦作大学机电工程系,焦作 454003
【出 处】
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全国高等学校制造自动化研究会第十三届学术年会
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本研究利用自制的二维超声抛光装置并将其安装到精密磨床上，对500mm×400mm×16mm纳米ZrO2增韧AL2O3纳米陶瓷板进行抛光试验，测试结果表明：此超声抛光装置最大振幅达到18.34um，利用其进行超声抛光，能够提高抛光效率而且抛光表面粗糙度达到0.07um以下，平面度达到10um以下，为大平板纳米陶瓷超声抛光提供了一种有效的加工方法。
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