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通过第一性原理计算我们系统地研究了ZnO (000±1)两个极性表面上的ZnxOy(x+y≤6)团簇吸附情况，发现这两个表面有很大差别。(0001)-Zn表面，在生长初始阶段首先随机吸附氧原子，然后吸附Zn原子演化为金字塔结构或者其他结构。通过吸附能的计算可以发现金字塔结构能量很稳定且在富Zn条件下，有很多接近体相的团簇稳定存在。这些现象说明(0001)-Zn表面很容易成核生长，这与实验观测是一致的。(000-1)-O表面则优先吸附的Zn团簇，将中间的氧原子拱起形成笼状结构。这种结构能量上很稳定，不易演化为其他构型。在(000-l)-O表面，小ZnxOy团簇没有接近体相的稳定团簇结构。因此，在这一表面成核难度相对较大，这与实验上观察到(000-1)-O表面ZnO生长平滑且成核密度低是一致的。