微机械开关相关论文
对微机械电容、微机械电感、微机械谐振器/滤波器、微机械传输线、微机械天线阵列和微机械开关等RF MEMS器件的特点、研究现状及其......
围绕多晶硅微机械开关中刻蚀牺牲层和消除多晶硅膜的应力这两个关键技术开展实验研究,得到刻蚀牺牲层中光刻胶最大抗腐蚀时间和适......
本文介绍了微机械开关的形式、物理特性,分析了其工作原理。文中采用一端固定、一端自由运动的悬臂梁的力学模型,给出了MEMS开......
随着通迅技术的迅猛发展，微波开关的插入损耗、体积已成为微波控制器件领域 的瓶颈。近几年来随着微机械技术的不断发展，微机械微波......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
基于微机械开关结构的电化学传感器是当前微机械加工技术结合传统电化学传感器技术创立的新一代传感器技术,本文研究该交叉学科需......
通过对独特的MEMS微波开关模型的理论分析,并用ConventorWare和ADS软件对其微机械结构和射频性能进行仿真,得出该开关工作在DC-4GH......
中国科学院宁波材料技术与工程研究所微纳功能材料与器件课题组在三维微纳结构制造系统的基础上，通过多材料微打印技术制造了静电控......
在微机械开关与硅IC工艺设计和兼容方面进行了改进，获得了一种可与IC工艺兼容的RF MEMS徽机械开关．采用介质隔离工艺技术把这种RF ME......
介绍MEMS开关的分类、特性、制造、可靠性和应用。...
RF-MEMS就是利用MEMS技术制作各种用于无线通讯的射频器件或系统RF-MEMS技术不仅为制作集信息的采集、处理、传播于一体的SOC成为......
射频元件微型化是微型无线通信系统发展的关键所在。本文从微机械开关、微机械谐振器、微机械滤波器、微机械天线、微机械电感及电......
主要探讨了微电子机械系统中普遍存在的失效模式及机理，对几种没有明确对应模式的失效机理也做了介绍。最后针对一种具体的微机械开......
