【摘 要】
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本文利用表面等离子波模场对金属薄膜表面介质折射率敏感的特性,以硅衬底上的SiO2作为下包层,以光敏聚合物SU-8经紫外光漂白得到的波导作为芯层,湿法腐蚀工艺制备20hm厚
【机 构】
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吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点实验室,长春130012
【出 处】
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全国第17次光纤通信暨第18届集成光学学术会议
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本文利用表面等离子波模场对金属薄膜表面介质折射率敏感的特性,以硅衬底上的SiO2作为下包层,以光敏聚合物SU-8经紫外光漂白得到的波导作为芯层,湿法腐蚀工艺制备20hm厚纳米金膜敏感区,选择光传输强度作检测参量,设计了基于表面等离子共振效应的液体折射率传感器.理论计算结果表明,当芯层材料折射率为1.575,待测液体折射率在1.566～1.575范围内时,器件归一化传输功率变化可达20dB.
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