【摘 要】
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采用电化学氧化生成的有序TiO2纳米管阵列,经过机械研磨制备了具有纳米管微观特征的纳孔二氧化钛.在紫外光照射下,系统研究了基于所制备的TiO2半导体传感器对甲醛的室温感应
【机 构】
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大连理工大学电子科学与技术学院传感技术所,辽宁大连116024
【出 处】
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第十二届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
采用电化学氧化生成的有序TiO2纳米管阵列,经过机械研磨制备了具有纳米管微观特征的纳孔二氧化钛.在紫外光照射下,系统研究了基于所制备的TiO2半导体传感器对甲醛的室温感应特性.采用直流和交流测试法,在室温下测量了传感器样品在10ppm～50ppm甲醛浓度范围内的交直流感应信号.传感器信号对不同浓度甲醛都表现很好的近线性响应特性,并且具有良好的恢复性能和重复性.且通过对比发现,交流阻抗响应信号比直流电阻信号要更加稳定.初步分析认为:相对于直流测试,在交流电压下,来自氧化物表面所附着的H2O离解的质子(H+)在电极和氧化界面引起的极化势垒得到了有效的抑制,从而提高了所测传感信号的稳定性.
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