微细加工工艺相关论文
电子束抗蚀剂是微细加工工艺中极具发展潜力的一种抗蚀剂.本文介绍了在微细加工工艺中应用电子束抗蚀剂在光掩模制造中的关键步骤......
在石英音叉陀螺微细加工工艺中,消除正交耦合误差是通过修调石英音叉上的质量块来实现的.为提高石英音叉质量块的稳定性,使用......
利用半导体微细加工工艺,在硅片上制作出高150μm、尖端直径小于1μm的硅尖端阵列.还成功地研制了高1.5μm、尖端直径小于0.2μm的......
本文综述了利用微机械与纳米加工技术制备分析微器件的常用方法,介绍了生物芯片,微矩阵芯片的微细加工工艺和集成化分析过程,同时......
该报告的研究内容共分为两部分.一、微机器人及其相关微细加工工艺自动控制技术的研究.1、压电微电机的研究;2、压电微机器人的研......
太赫兹(THz)科学技术在生命科学、材料科学、天文学、大气与环境监测、无线通信、反恐和国家安全等领域具有重大应用潜力，是当前国......
本文研究了一种微驱动器及继电器,其设计原理采用基于机械操纵触点导通的机电方式,制作采用MEMS微细加工工艺,单个器件的整体尺寸......
近年来,二极管抽运YAG激光器正在激光加工特别是微细加工技术领域中发挥着重要的作用.然而,迄今为止,有关YAG激光作用下材料的基本......
科技进步日新月异，信息产业发展迅猛，微电子行业成为21世纪人们关注的焦点，微电子技术是通过光刻、薄膜、真空、离子注入等微细加工工......
介绍了磁悬浮转子微陀螺的工作原理及有关的微细加工工艺.磁悬浮转子微陀螺的平面线圈是采用光刻、电镀及溅射等微细加工方法来实......
微细加工技术是由瑞士BinC公司发明的一种新型加工工艺，在2004年法国巴黎举办的国际表面处理展览会（SITS）和2004年在法国里昂举办的AL......
基于微细加工工艺,设计并制备了一种指向性良好的压电复合材料的超声波探测器。该探测器由压电振子、阻尼器、中继板和特高频（UHF）连......
A novel fabrication process for micro patterns with curvature was introduced. The curved structures were made by compens......
采用三层胶光刻工艺以及ＳＦ６＋Ａｒ为反应气体的反应离子刻蚀工作，实现了小于０．５０μｍ的图形转移，并将此微细加工工艺应用于０．５０μｍＣＭＯＳ集成电路的制做。......
阐述了基于微型涡轮发动机实现超高能量密度Power MEMS的构想及其重要意义.分析了围绕证实基于微型涡轮发动机的超高能量密度Power......
研究了微尺度条件下射频微机械系统中平行微带谐振器件的相关效应.对该谐振器的表面粗糙度、导热率、电学尺度等因数引起的微尺度......
<正>一、微型机械加工技术概念微型机械加工或称微型机电系统或微型系统是只可以批量制作的、集微型机构、微型传感器、微型执行器......
