【摘 要】
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扫描电子显微镜(SEM)是用于观测微纳操作的理想仪器,为了快速准确地获取清晰的SEM显微图像,提出一种基于小波变换的SEM自动聚焦技术.首先,本技术采用基于具有较小分解层数的
【机 构】
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中国科学院电工研究所 北京 100190
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扫描电子显微镜(SEM)是用于观测微纳操作的理想仪器,为了快速准确地获取清晰的SEM显微图像,提出一种基于小波变换的SEM自动聚焦技术.首先,本技术采用基于具有较小分解层数的小波变换的图像清晰度评价函数对SEM显微图像进行分析评价,并且根据评价结果以大步距遍历搜索函数峰值,直至第一次经过峰值.接着,增加小波分解层数,在利用基于具有较大分解层数的小波变换的图像清晰度评价函数评价图像之后,以小步距进行局部搜索,直至搜索到清晰的SEM显微图像,完成SEM的自动聚焦.实验证明该SEM自动聚焦技术准确有效,具有较强的鲁棒性和实时性。
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