Direct Detection of Grain Boundary Scattering in Damascene Cu Wires by Nanoscale Four-Point Probe Re

来源 :IUPAC 5th International Symposium on Novel Materials and the | 被引量 : 0次 | 上传用户：yun568

【作者】

：

T.Hirahara Y.Kitaoka T.Tono S.Yoshimoto T.Ohba S.Hasegawa

【机构】

：

Deparment of Physics,University of Tokyo,Tokyo 113-0033,Japan

【出处】

：

IUPAC 5th International Symposium on Novel Materials and the

【发表日期】

：

2009年12期

【关键词】

：

Cu wires Four-tip STM CNT-coated tips nanoscale

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