【摘 要】
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用共溅射的方法在镀钼钠钙玻璃上制备铜锌锡三元金属预制层,采用快速升温热处理退火,分别在200℃,250℃,300℃,350℃,400℃,450℃,500℃,550℃,600℃硫化,得到的薄膜分别采用XRD,Raman,SEM物相和形貌的表征,确定了在不同温度下退火所得到的相组成.结果表明,硫化退火过程中,主要形成的二元相有Cu2S、ZnS、SnS,它们的形成温度在250-300℃.三元相Cu2Sn
【机 构】
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北京工业大学材料学院,北京 100124 成都绿色能源与绿色制造技术研发中心,成都 610207
【出 处】
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第十四届中国光伏大会暨2014中国国际光伏展览会
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用共溅射的方法在镀钼钠钙玻璃上制备铜锌锡三元金属预制层,采用快速升温热处理退火,分别在200℃,250℃,300℃,350℃,400℃,450℃,500℃,550℃,600℃硫化,得到的薄膜分别采用XRD,Raman,SEM物相和形貌的表征,确定了在不同温度下退火所得到的相组成.结果表明,硫化退火过程中,主要形成的二元相有Cu2S、ZnS、SnS,它们的形成温度在250-300℃.三元相Cu2SnS3在300-350℃形成.超过350℃时,小晶粒的CZTS开始形成,温度继续升高,CZTS晶粒逐渐长大,杂相减少,当温度达到500℃时,表面形成结晶性好,晶粒尺寸大,无杂相的CZTS薄膜.
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光致衰退效应是制约非晶硅薄膜电池发展的一个重要因素.在非晶硅/微晶硅叠层电池中引入中间层结构可以对太阳光进行选择性分配,反射部分短波段的光,增加了非晶硅顶电池的光吸收从而减少顶电池的厚度,有效地提高了叠层电池的稳定效率.本文系统地研究了沉积功率、氢气稀释比H2/SiH4、CO2/SiH4等沉积参数对SiOx薄膜光电性能(晶化率、折射率、带隙、电导率等)的影响.经过工艺优化,获得了折射率为2.2、晶
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