【摘 要】
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针对用于监测危险化学品的MEMS传感器的特点,研制了监测危险化学品敏感元件或传感器的电学参数批测试平台.为了研究本测试平台对MEMS传感器阻抗的测量不确定度与阻抗的函数关
【机 构】
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中国科学院微电子研究所硅器件与集成技术研究室 北京 100029
【出 处】
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2007年首届仪表、自动化与先进集成技术大会
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针对用于监测危险化学品的MEMS传感器的特点,研制了监测危险化学品敏感元件或传感器的电学参数批测试平台.为了研究本测试平台对MEMS传感器阻抗的测量不确定度与阻抗的函数关系,以利用该平台测量精密电阻时示值误差测量结果的不确定度评定为例,在提出数学模型的基础上,对各不确定度分量的来源及影响进行了详细分析和评定,并进一步给出了合成标准不确定度以及扩展不确定度。发现该平台在测量范围为0～5e3Ω时,扩展不确定度较为稳定；测量范围大于5e3Ω时,该平台的扩展不确定度随被测电阻增大而递增,并且基本成线性关系。将被测电阻与扩展不确定度的关系采用最小二乘法进行曲线拟合,归纳出相应的公式。这可为建立测试平台的规范与标准,优化传感器的测量,提供基本信息。
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