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硫化是迄今为止最好的钝GaAs表面的方法。该文利用一系列硫化学试剂对表面一本征层一重掺杂层(s-i-n<+>)结构的样品进行钝化,利用光调制反射谱观察到了大量的Franz-Keldysh振荡,并测量出了本征层的电场强度,从而研究了GaAs表面硫钝化前后费米能级的变化,并且比较了各种钝化方法的钝化效果。