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本文主要研究了太阳电池烧穿工艺对氮化硅薄膜的光学性质的影响,对烧结前后的Si<,3>N<,4>薄膜进行了光学性质测试.
太阳电池烧穿工艺对氮化硅薄膜的光学性质的影响
【摘 要】
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本文主要研究了太阳电池烧穿工艺对氮化硅薄膜的光学性质的影响,对烧结前后的SiN薄膜进行了光学性质测试.
【机 构】
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上海交通大学物理系太阳能研究所(上海)
【出 处】
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中国太阳能学会2001年学术会议
【发表日期】
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2001年期
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