【摘 要】
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作为未来通讯的核心技术,RFMEMS灵巧的设计可以实现更为复杂的功能,轻便和低能耗的特点使设备小型化成为可行.基于RFMEMS技术的开关同传统的PIN二极管开关和FET场效应管
【出 处】
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2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
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作为未来通讯的核心技术,RFMEMS灵巧的设计可以实现更为复杂的功能,轻便和低能耗的特点使设备小型化成为可行.基于RFMEMS技术的开关同传统的PIN二极管开关和FET场效应管开关相比,具有体积小、能耗低、易于集成等优点,在无线通信、卫星系统、雷达系统等领域应用前景广泛.RFMEMS开关对低驱动电压和高隔离度的要求是两大技术难点.本文提出了一种基于缺陷地和弹性折合梁结构的低驱动电压、高隔离度K波段MEMS开关结构.通过在CPW地线上刻蚀出凹槽形成CPW(共面波导)缺陷地结构,并采用三个固支梁结构使开关加载的直流偏置电压同射频信号相分离.上述设计使MEMS电容式开关在K波段有良好的微波性能同时具有较低的驱动电压.
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