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本文介绍了一种以氧化锌ZnO为压电薄膜微传声器,阐述了其设计方法,生产工艺流程,对该ZnO压电薄膜传声器测试表明该传声器灵敏度较低有待于改进.
硅微压电薄膜传声器的制备
【摘 要】
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本文介绍了一种以氧化锌ZnO为压电薄膜微传声器,阐述了其设计方法,生产工艺流程,对该ZnO压电薄膜传声器测试表明该传声器灵敏度较低有待于改进.
【机 构】
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中国科学院声学研究所(北京)
【出 处】
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中国声学学会2002年全国声学学术会议
【发表日期】
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2002年9期
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