【摘 要】
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热流微机械陀螺具有结构简单、量程大、抗冲击能力强等优点，在军民领域具有广泛的应用前景。但与其他MEMS 传感器一样，热流微机械陀螺仪敏感结构的输出信号微弱，信号检测难
【机 构】
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南京理工大学MEMS惯性技术研究中心南京210094
【出 处】
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中国仪器仪表学会第十三届青年学术会议
论文部分内容阅读
热流微机械陀螺具有结构简单、量程大、抗冲击能力强等优点，在军民领域具有广泛的应用前景。但与其他MEMS 传感器一样，热流微机械陀螺仪敏感结构的输出信号微弱，信号检测难度大。论文介绍基于调制解调原理的热流微机械陀螺仪测控电路的设计；热流微机械陀螺仪数字接口的设计。试验表明，采用论文所述技术实现的热流微机械陀螺仪的标度因数为0.49 mV/(o·s-1)，标度因数非线性为1.03％，标度因数对称性为3.49%，零偏稳定性为2.17 s /。
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