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本文采用低纯度硅粉拉制的颗粒硅带(SSP)衬底,对RTCVD直接外延多晶硅薄膜并制作电池进行了研究.
低纯度颗粒硅带上硅薄膜太阳电池的研究
【摘 要】
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本文采用低纯度硅粉拉制的颗粒硅带(SSP)衬底,对RTCVD直接外延多晶硅薄膜并制作电池进行了研究.
【机 构】
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北京师范大学低能核物理研究所
【出 处】
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中国太阳能学会2001年学术会议
【发表日期】
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2001年期
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