论文部分内容阅读
本文简述了采用浓磷扩散吸杂,铝吸杂以及磷--铝共同吸杂等方法,对多晶硅进行了大量的实验研究结果表明,上述方法对我们实验所用的多晶硅材料做太阳电池,其电学特性没有显著的改善.
多晶硅太阳电池的吸杂研究
【摘 要】
：
本文简述了采用浓磷扩散吸杂,铝吸杂以及磷--铝共同吸杂等方法,对多晶硅进行了大量的实验研究结果表明,上述方法对我们实验所用的多晶硅材料做太阳电池,其电学特性没有显著的
【机 构】
：
云南师范大学太阳能研究所
【出 处】
：
中国第六届光伏会议
【发表日期】
：
2000年期
其他文献
该文研究了用UTT－40型超高真空镀膜机蒸发形成的多晶硅薄膜的高子注入掺杂和退火特性，并用多晶硅发射极制作了新型的高灵敏度光电晶体营，当人射光功率为44nw时，光电增益达到了338
在微型机电系统中元件之间会产生接触,因此磨损将影响到系统的寿命,摩擦和粘滑还会影响到装置的工作可靠性,特别是启动摩擦会影响到装置的工作稳定性.利用球盘摩擦实验装置对
该文报道了在ＳｉＯ〈，２〉和Ｓｉ〈，３〉Ｎ〈，４〉膜上用ＲＴＣＶＤ法直接沉积多晶硅薄膜的实验结果，在这两种薄膜上都制备出了具有柱状晶粒的多晶硅薄膜。发现两者在薄膜的结构和结晶取向上都有很大的不同。
将热丝(钨丝)作为催化器平行地引入等离子体增强化学气相沉积,建立了热丝助PECVD沉积系统.在固定沉积气压、氢稀释度和射频功率和300℃衬底温度的条件下,研究不同钨丝温度T对