非硅三维微加工新技术-DEM技术

来源 :第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liu7605136
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DEM技术(Deepetching,Electroforming,Microreplication)是继硅加工技术和LIGA技术发展起来的一种全新的非硅三维微加工新技术,该技术吸收了体硅微加工技术和LIGA技术的工艺优点与LIGA技术相比,它具有加工周期短,价格低廉等优点,目前利用该技术已获得了微复制模具,并已模压出多种高深宽比塑料微结构。该技术的开发成功。可望成为一项全新的三维微加工技术。
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