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ZnO纳米晶柱的激光分子束外延自组织生长研究1
ZnO纳米晶柱的激光分子束外延自组织生长研究1
来源 :第三届中国(西安)纳米科技研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ynzhengda
【摘 要】
:
本文用金纳米薄膜作为催化剂,在硅基片上利用激光分子束外延工艺自组织生长了ZnO纳米晶柱。 根据样品的形貌和成分分析结果,并对催化剂厚度和所生长纳米晶柱的尺度关系进行
【作 者】
:
贺永宁
朱长纯
张景文
刘效增
徐庆安
杨晓东
【机 构】
:
西安交通大学电信学院电子系,710049
【出 处】
:
第三届中国(西安)纳米科技研讨会
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
纳米晶
激光分子束
分子束外延
纳米薄膜催化剂
外延工艺
生长机制
硅基片上
尺度关系
成分分析
自组织
辅助下
阵列
样品
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本文用金纳米薄膜作为催化剂,在硅基片上利用激光分子束外延工艺自组织生长了ZnO纳米晶柱。 根据样品的形貌和成分分析结果,并对催化剂厚度和所生长纳米晶柱的尺度关系进行了分析研究。认为在金纳米薄膜催化剂辅助下,ZnO纳米晶柱阵列按照“气-液-固”生长机制生长而成。
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