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人体静电是微电子器件损伤的主要原因
人体静电是微电子器件损伤的主要原因
来源 :中国物理学会第八届静电学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:vecent
【摘 要】
:
带静电的人体手持小金属工具、物件操作过程中,对微电子器件放电造成微电子器件的介质击穿、PN结破坏、布线膜融熔、内引线烧坏等等,危害相当严重。采取静电防护技术解决静电危
【作 者】
:
王万禄
梁礼海
【机 构】
:
中国兵器工业总公司晋东化工厂
【出 处】
:
中国物理学会第八届静电学术年会
【发表日期】
:
1999年8期
【关键词】
:
人体静电
静电放电
静电防护技术
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带静电的人体手持小金属工具、物件操作过程中,对微电子器件放电造成微电子器件的介质击穿、PN结破坏、布线膜融熔、内引线烧坏等等,危害相当严重。采取静电防护技术解决静电危害刻不容缓。
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