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电镀铜系统是将铜沉积在半导体晶片上。酸性镀铜液的主要成分是硫酸铜、硫磺酸和盐酸。所有的抑制添加剂都会影响铜的沉积质量。本文建立了用离子色谱分离，蒸发光散射检测酸性镀铜液中Enthone和Shipley抑制剂的方法。
酸性镀铜液中抑制添加剂的测定
【摘 要】
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电镀铜系统是将铜沉积在半导体晶片上。酸性镀铜液的主要成分是硫酸铜、硫磺酸和盐酸。所有的抑制添加剂都会影响铜的沉积质量。本文建立了用离子色谱分离，蒸发光散射检测酸性镀铜液中Enthone和Shipley抑制剂的方法。
【机 构】
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戴安中国有限公司,北京,100029
【出 处】
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第13届离子色谱学术报告会
【发表日期】
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2010年4期
其他文献
建立了以CarboPac MA1阴离子交换柱分离，脉冲安培法同时检测蒸馏白酒中乙醇和甘油的方法。乙醇在25-50000 mg/L浓度范围内，而甘油则在0.005-50 mg/L浓度范围内具有良好的线性，对应检出限为分别为5 mg/L和0.001 mg/L。实际白酒样品测定乙醇的相对标准偏差均在0.5％以下，低含量甘油的的相对标准偏差均小于5％，加标回收率在91.7％和103.8％之间。该方法检测蒸
建立了以阴离子交换分离机理，脉冲安培检测合成反应液中果糖胺的方法。在0.02-20 mg·L-1范围内具有良好的线性，检测限可达1 μg·L-1。实际样品测定的相对标准偏差均小于3％，加标回收率在93.1％和103.4％之间。该方法检测合成反应液中果糖胺具有操作简便、干扰少、灵敏度高等优势，适用于合成工业中过程产物的监控。
本文建立了离子色谱法测定参麦注射液及其原料红参提取物、麦冬提取物中单糖及二糖类物质无需柱前、柱后衍生化的直接含量测定的方法。样品稀释后，采用戴安CarboPac PA20分析柱分离，流动相为1mm氢氧化钠溶液梯度淋洗，流速0.45mL/min，脉冲安培检测。本方法简便快捷,用于测定参麦注射液及其原料中糖类物质的含量,具有较高的灵敏度。
本文建立了离子色谱法测定双黄连注射液中单糖含量测定的方法。样品稀释后，使用戴安CarboPac PA20分析柱分离，流动相为氢氧化钠溶液梯度淋洗，流速0.5mL/min，脉冲安培检测。本方法简便快捷，用于测定双黄连注射液中糖类物质的含量,具有较高的灵敏度。
本文提供了一种使用离子色谱法，OmniPac PAX-500色谱柱，脉冲安培法检测地表水，废水和洗涤液中二乙醇胺和三乙醇胺的方法。相比传统方法，离子色谱法检测效率及灵敏度更高。混合淋洗液为150mm氢氧化钠加5％乙腈，高pH的氢氧化钠可保证醇胺的完全离解。离子色谱排斥柱采用反向机理进行分离。乙腈的存在能控制醇胺的保留，提高乙腈的浓度可缩短保留时间。
本文提供了一种使用离子排斥色谱法配合脉冲安培检测器来检测发酵培养液中乙醇和乙二醇的方法。采用IonPac ICE-AS1分析柱，淋洗液为甲烷磺酸。工作电极为一次性铂电极，脉冲安培检测法检测。在使用离子排斥机理对实际样品进行分离的过程中，基体中高浓度存在的离子化合物，以及二糖，多糖，和一些己糖和戊糖均无保留，从而可以保证乙醇和乙二醇的良好分离和定量。
本文提供一种使用离子色谱法，OmniPac PAX-500 排斥离子色谱柱，抑制型电导法检测电镀液中邻磺酰苯甲酰亚胺方法。采用紫外检测器检测。
本文以CarboPacTM PA200阴离子交换柱为分离柱，以NaOH+CH3COONa梯度洗脱，Au工作电极，脉冲安培检测法，并以5％的果葡萄糖浆为阳性对照品，对市售蜂蜜进行测定，研究结果表明，离子色谱脉冲安培检测法用于蜂蜜产假的检测，是一种灵敏快速的检测方法。
本文描述了用离子色谱测试电镀钢槽液(含有氢氟酸、盐酸、硝酸以及各200mg/L的铁、铬、镍)中低 ppm浓度FC-95的方法。样品通过IonPac NG1柱后，表面活性剂与酸性基体分离浓缩至柱中，然后浓缩的表面活性剂由IonPac NG1柱被淋洗到OmniPac PAX-500柱上进行分析，抑制型电导检测。