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类金刚石碳(diamond-like carbon, DLC)薄膜材料在大气环境下具有低摩擦、耐磨损特性及良好的机械性能;另外,DLC具有良好的化学惰性和高的电阻率,在腐蚀介质中表现出极高的化学惰性,能够保护基底材料免遭外界介质的腐蚀。兼具这两种性能,使DLC薄膜成为一类有潜质的腐蚀摩擦材料而得到广泛的研究。采用等离子体增强化学气相沉积技术制备了掺硅多层非晶碳基涂层.通过各种测试方法来研究了3.5wt.%NaCl环境下多层结构对材料耐腐蚀性能的影响.电化学及腐蚀磨损测试结果表明多层非晶碳基涂层由于其致密及多层结构可以提高基底在3.5wt.% NaCl环境下的耐腐蚀性能.