【摘 要】
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机械式压力检测装置无法满足在高温、高压和振动冲击等恶劣环境下压力检测的使用要求;采用了耐高温压阻式压力传感器作为压力枪测器件取代机械压力表，用SIMOX(separation by implanted oxygen)技术的SOI(silicon oninsulator)晶片在微加工平台上制作的传感器硅芯片，完成耐高温封装，并配置了放大电路，研制了智能压力检测仪，从而保证了测试结果的科学性、真实性和
【机 构】
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江苏大学微纳米科学技术研究中心 江苏 镇江 212013 大连机车厂 辽宁 大连 116021
【出 处】
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2005全国博士生学术论坛——机械工程
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机械式压力检测装置无法满足在高温、高压和振动冲击等恶劣环境下压力检测的使用要求;采用了耐高温压阻式压力传感器作为压力枪测器件取代机械压力表，用SIMOX(separation by implanted oxygen)技术的SOI(silicon oninsulator)晶片在微加工平台上制作的传感器硅芯片，完成耐高温封装，并配置了放大电路，研制了智能压力检测仪，从而保证了测试结果的科学性、真实性和合理性。
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