自从表面增强拉曼散射(SERS)被发现以来,SERS光谱技术因其高灵敏、快速、高效、简单的优点被广泛应用于生物、医学、化学分析等领域。特别是当目标分子数量低于ppb级别时,SERS光谱的优势显得尤为突出,它可以在复杂的体系中检测到生物化学类样品的指纹特征拉曼谱,可用于检测、鉴定甚至标定含量。近年来我国的食品安全问题时有发生,简单高效的SERS光谱技术在食品安全检测中发挥了重要的作用。将SERS技术应用于食品安全检测最关键的是制备出经济、增强效果好、可重复性高的SERS衬底。本论文利用FDTD方法对金字塔、截角金字塔、椭球体、方块、米字形和点阵形貌金衬底的散射光谱和空间电场分布进行了理论模拟计算,分析了衬底的表面等离子体共振特性,研究了各自的SERS效果。模拟结果表明将衬底表面微形貌化会产生较好的增强效果,并且复杂的形貌比单一的形貌增强效果更好,同时形貌的尺寸改变时,散射光谱的规律也会发生变化。实验中利用电子束曝光和软模板压印技术成功制备出了米字形和点阵形貌的金衬底,并将其用于胱氨酸和三聚氰胺的拉曼散射光谱的测量,测量结果表明米字形金衬底和点阵金衬底都能检测到浓度为50ppm的胱氨酸的拉曼特征峰,并且米字形金衬底也可以检测到浓度为50ppm的三聚氰胺的拉曼特征峰。