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纳米多层膜具有单层薄膜难以达到的各种特殊性能,如高的硬度、结合强度,高的韧性及热稳定性,低的摩擦系数等;同时,非晶碳(a-C)薄膜由于在摩擦过程中具有自润滑性,因此被广泛应用于减摩耐磨材料。本文通过封闭场非平衡磁控溅射镀膜机制备了不同调制周期的CrN/W_2N多层膜和不同含Ti量的a-C复合膜。并通过X射线衍射仪(XRD)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)、拉曼光谱(Raman)、扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的组织结构、表面和截面形貌进行了分析,通过纳米压痕仪(MTS Nanoind