PTCDA/p-Si光电探测器的研制及参数优化

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苝四甲酸二酐(3,4,9,10-perlenetetracrboxylic dianhydride-PTCDA)是一种红色粉末状的单斜晶系宽带隙有机半导体材料。它是多相芳香族分子复合形成的非聚合物,它的价带和第一紧束缚导带之间的能量是2.2ev,在半导体光电器件的制造中,这种材料具有很好的光电特性,在多色有机发光器件及高效光电探测器中都有广泛应用。本文主要讨论ITO/PTCDA/P-Si/Al光电探测器的研制及特性参数的优化。本文首先对光电探测器的工作原理和参数进行了阐述;其次给出了PTCDA的材料特性,并且讨论了PTCDA/P-Si势垒的各项电学特性及其在正/反偏压作用下的能带结构。随后,介绍了ITO/PTCDA/P-Si/Al光电探测器的研制过程和原理。最后从以下几个方面对器件特性进行优化:1.利用AFM分析了PTCDA在P-Si上的成膜特性,进而讨论了温度和膜厚对于薄膜表面形貌的影响,同时根据Raman光谱测试结果得到了温度对于PTCDA分子结构的影响;2.由于ITO作为PTCDA有机光电探测器的阳极,采用射频磁控溅射淀积的ITO薄膜的光学和电学性能对制备条件非常敏感,所以讨论了溅射工艺条件对于ITO薄膜特性的影响;3.原来在ITO上引电极单纯采用Al,由于ITO与Al接触会在界面形成氧化铝,增加了接触电阻,影响了器件的性能,所以试验中我们采用了Ni—Al复合电极,比较了两种电极结构的电学特性。
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