电铸是一种精密特种加工工艺，具有工艺性能好、加工精度高、设备简单等优点。目前广泛用于模具制造、新材料的开发和微机械系统的制作。拥有良好的发展前景。但是电铸也存在明显的缺陷，比如沉积速率慢、沉积不均匀等。为了解决电铸存在的问题，研究了很多新的工艺方法，等离子体电解沉积就是其中一种。等离子体电解沉积作为一种特殊的电化学加工方法，借助等离子体电解的强电场和激发态的电子可以促进金属离子的沉积，加快沉积效率。本文在广泛查阅资料的基础上，对试验机理进行了研究，同时搭建试验平台，试验验证了改变工艺参数和试验装置对沉积层结构和沉积速率的影响，取得并检测了Zn和Ni的沉积试样。研究中采用的电铸形式包括电极沉浸在电解液中的形式、电解液喷射的形式、向阴极周围的电解液中通入气泡的形式，其中前两种形式中阴极周围自发产生气泡。结论是阴极等离子体电解沉积相比于普通电解沉积可以大幅提高沉积速率。去离子水作溶剂时由于试验电压过高，难以实现沉积。在乙醇与水作溶剂的电解液中，氯化钠的添加量对沉积速率影响不大；柠檬酸浓度是影响沉积速率的主要因素，在主盐浓度一定的情况下，适当提高柠檬酸的浓度可以提高沉积速率。乙醇浓度为300mL/L时，添加剂的加入可以提高沉积层的质量，乙醇浓度为100mL/L时，添加剂对沉积层形貌影响不大。提高电解液中乙醇的浓度会降低沉积速率，提高沉积层表面质量。不同类型的主盐对沉积层形貌影响不大。沉积层中氧化物的存在，证明等离子体电解沉积中至少有部分反应发生在气泡-电解液界面附近。此外，电解液喷射式试验装置可以实现在具有较复杂型面的阴极上的沉积，利于实现等离子体电解沉积与电铸技术的结合，具有重要的研究价值。