本论文所研究的课题来源于安徽省十五科技攻关重点项目《特殊工况异形曲面在线检测系统的研究》。本课题的研究目标是：设计并研制出一套显微测量系统，完成对微型零件的显微放大及图像的采集、处理和测量，并最终给出被测零件特征尺寸的测量结果，以及对测量结果的数据处理和精度分析。 文中，作者首先在第一、二章认真分析了国内外在显微机器视觉方面的发展概况，研究了小尺寸测量的有关问题，确定了对半导体芯片电路线宽进行显微测量的研究方案。接下来，在第三、四两章详细阐述了光学显微系统和数字图像的输入、输出等硬件部分的设计。在进一步的研究中，作者独立完成了：(1)用Visual Basic语言进行软件编程和程序调试，实现了显微图像的处理、测量和识别(见第五章)；(2)针对显微测量这一类特殊的几何量测量，作者给出了影响测量结果的误差因素，并对测量结果进行了细致的精度分析(见第六章)；(3)对上述实际测量及精度分析部分进行了独立的实验。实验结果表明，本套显微测量装置具有很好的测量稳定性，半导体芯片电路线宽测量的精度在0.2μm以内(见第六章)。 本论文的研究成果为国内在机械、电子和集成电路等领域微型零件的测量提供了重要的参考价值。在此基础上进行进一步的开发研究工作，把该项技术产品化、市场化，将具有很大的现实意义。